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開放特許抄録集


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整理番号:0127 印刷用PDF
特許名称 ナノ気泡の判別方法及びその装置
発明者
略歴/業績他 
研究室概要
河合 晃、 鈴木 健太

利用分野

半導体、液晶機器等の基板検査、発泡、紛体プロセス、バイオ関連等

発明の目的 基板表面の汚染や欠陥の検査のため、原子間力顕微鏡を用いてナノ気泡を確実にその他の異物から判別することを目的とします。
概要 探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、該探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定します。
また、対象物の体積の経時変化を測定しその体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定します。
特徴・効果 本発明は下記の効果があります。
1) 探針の先端を対象物の斜面に押し当てることによりナノ気泡とその他の異物を容易に判別できます。
2) また、対象物の体積の経時変化を測定することによっても確実にナノ気泡とその他の異物を判別できます。
3) さらに、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定することによっても確実にナノ気泡とその他の異物を判別できます。
以上から、ナノデバイスの製造工程中のウエットプロセスにおける欠陥の除去やナノ気泡の挙動解析にも役立ちます。
発明の詳細・
図面等

【特許請求の範囲】
先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡を用いたナノ気泡の判定方法であって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とするナノ気泡の判定方法。

【詳細】
原子間力顕微鏡のカンチレバー11の先端には探針12が設けられ、その上方には、該カンチレバーとナノ気泡18を光学的に拡大して観察するためのレンズ13があり、このレンズ13の周囲には、気体飽和水19を循環させるための循環路14が形成されています。そして、この循環路から気体飽和水19を供給・吸引してレンズ13とガラスや半導体などの基板15との間にメニスカスを形成します。
したがって、基板15に有機汚染16やナノ欠陥17があるとその部分にナノ気泡18が発生しますので、前記基板上を走査することでナノ気泡の発生分布から基板表面の汚染や欠陥を検査します。

ナノ気泡判別装置の概要図
ナノ気泡判別装置の概要図
ライセンス情報
  • 特許登録番号:第5013320号
  • 登録日:H24年6月5日(2012年)
  • 権利満了日:H24年6月5日(2012年)
  • 実施許諾:可
  • 権利譲渡:否
事業化情報
  • 実施実績:無し
  • 許諾実績:無し
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