ナノ・マイクロシステム工学研究室

技術シーズカテゴリー
ナノテクノロジー・材料
キーワード
電子デバイス微細プロセス技術表面技術

研究室教職員

河合 晃

河合 晃KAWAI Akira

電気電子情報

教授

TEL:
0258-47-9512
FAX:
0258-47-9512

専門分野

1. 電気電子工学:集積回路 2. 物性:電子デバイス、電子材料

研究分野

1.インテリジェントMEMSデバイスおよびプロセス技術
2.有機膜コーティングによる表面改質(高光沢、耐磨耗、耐腐食)
3.ぬれ性制御による付着・接着剥離試験
4.LSI・液晶表示デバイス関連の周辺プロセス技術
5.マイクロリソグラフィー(フォトレジスト、めっき、エッチング)
6.基板 クリーンネス、微粒子の分散・制御技術
7.物質の乾燥制御
8.液滴と気泡の基礎物性と制御

主要設備

集積デバイス開発用クリーンルーム(クラス1000)、MEMS作製装置一式、原子間力顕微鏡、環境制御型電子顕微鏡(ESEM)、付着解析装置、スクラッチング装置、CMP装置、分光装置(FT-IR、UV-可視、エリプソ)、ナノインプリント、CVD・蒸着・スパッタ・RIE・アッシング装置、超臨界乾燥装置、応力・流れ・熱・電磁界・光シミュレーション、リソグラフィシステム、光学顕微鏡、超純水作製装置、酸化拡散炉、高速カメラ、サーモビュア、ワイヤーボンディング、帯電メーター、燃料電池評価装置、抵抗率測定システム、マイクロフォーカスX線CT、光電子分光装置(XPS)、蛍光X線分析装置など

得意とする技術

1.応力分布解析、付着力改善、付着強度測定
2.表面分析技術、プローブ顕微鏡技術
3.表面クリーン化技術、表面処理技術
4.微細加工技術(リソグラフィ)
5.電子デバイス作製プロセスの最適化および技術支援
6.MEMS分野
7.コーティング、乾燥技術

産学官連携実績・提案

1.発電MEMSデバイスの実用化 2.3次元太陽電池デバイスの集積化 3.マイクロバイオチップの開発

交流を求めたい分野

1.固体表面の微細加工による高機能化 2.製品表面特性の測定 3.ウェットプロセスの実用化(疎水化、ぬれ性改善) 4.バイオ・生体材料の電気技術制御

知的財産等

振動測定装置及び振動測定方法(特許第5004223号)
ナノ気泡の判別方法及びその装置(特許第5013320号)

メッセージ

1. 企業での10年間にわたる製品の研究開発・試作・量産移管といった経験・実績をベースに、実用化に繋がるものづくりを重視していきます。
2. これまで、にいがたナノテク研究会リーダー、信濃川テクノポリス機構開発指導会員を通じて、地域との産学連携を重視してきています。
3.セミコンなどの展示会、各種セミナー講師など産業界との交流実績・経験が豊富です
4. 製品トラブル、新規技術開発など、ご相談に関しては何でも懇切丁寧に対応いたします。ご遠慮なくお問合せください。

  • 図1 光電子分光装置(XPS)による表面解析図1 光電子分光装置(XPS)による表面解析
  • 図2 集積MEMSデバイス(マイクロポンプ)図2 集積MEMSデバイス(マイクロポンプ)
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