1. 機械工学：精密機械、生産工学
2. 工学一般：光技術
3. 科学技術一般領域：計測工学

メートル定義に準拠したナノメートル・ピコメートル計測技術の開発
１．位相補間誤差のないレーザ干渉測長計の開発
２．結晶格子間隔を利用した微小長さ測定の開発
３．光コムを用いた周波数標準に直接準拠する絶対長さ測定の開発
４．簡便な半導体レーザを用いた超精密干渉測長計の開発
５．ナノメートル・ピコメートル計測を支援する環境整備技術の開発
超精密制御技術の開発
１．結晶格子表面の原子配列を参照基準とする２次元位置決めの開発
２．ディープラーニングを用いた超精密真直度測定機の開発

走査型プローブ顕微鏡コントロールステーション、ヘテロダインレーザ干渉測長計、高速演算FPGA入出力装置、恒温恒湿チャンバー、除振台、周波数安定化ＨｅＮｅレーザ、周波数可変半導体レーザ、マイクロ低周波数カウンタ、マイクロ波スペクトラムアナライザ、等

１．ナノメートル計測制御技術一般
２．圧電素子を用いた位置決め制御技術
３．ナノメートル計測に対応する環境整備技術

実績　１．固体アクチュエータを用いたナノメートル分解能を持つステージを中央精機(株)と開発した
　　　２．ディープラーニングを用いた超精密真直度測定機を中央精機（株）と開発中である
提案　超精密計測と制御に関わる研究開発

１．FPGAによる高速制御ソフトウェアの開発
２．超狭帯域周波数可変半導体レーザの開発
３．ナノメートル計測制御技術の実用化
４．ディープラーニングの超精密技術への応用

ピコメートル分解能を有する次世代の長さ測定装置・位置決め装置を実用化したい。