マイクロ・ナノプロセス応用研究室

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技術シーズカテゴリー
ナノテクノロジー・材料
キーワード
薄膜熱電デバイス光磁区イメージング微細加工MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)レーザー加工

研究室教職員

溝尻 瑞枝

溝尻 瑞枝MIZOSHIRI Mizue

産学融合トップランナー養成センター/(兼)機械創造

産学融合特任准教授

TEL:
0258-47-9765
FAX:
0258-47-9765

専門分野

レーザ微細加工

研究分野

生産工学・加工学

主要設備

フェムト秒レーザ描画装置,
リソグラフィプロセス一式,
RFマグネトロンスパッタ装置

得意とする技術

微細加工

産学官連携実績・提案

レーザ微細加工

交流を求めたい分野

各種マイクロデバイス

知的財産等

「熱電薄膜デバイス」特開2012-212838,
「高速成膜用スパッタリング」 特開2013-253295,
「厚膜パターンの製造方法」 特開2014-175376,
「複合微細構造体とその製造方法」 特開2016-175173

メッセージ

マイクロ構造,マイクロデバイスの作製ができます.
利用していただける応用がありましたらお声かけください.

  • 金属・半導体・感光性樹脂微細構造用3Dプリンタ金属・半導体・感光性樹脂微細構造用3Dプリンタ
  • レンズアレイ付フレキシブル熱電発電デバイスレンズアレイ付フレキシブル熱電発電デバイス
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