開放特許抄録集機械関係

整理番号:0029

無接触搬送装置

利用分野

大型で平板状の清澄搬送を要する物品の搬送装置。（例：フラットパネルディスプレイ用マザーガラス基板、半導体ウエハ等）

発明者

磯部　浩已

発明の目的

ディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状の物品等を、無接触でかつ清澄状態を保ちながら搬送し、搬送速度や方向制御が容易可能な装置を提供します。

概要

搬送路（コンベア）に沿って配設した弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させると共に、搬送品下方の流体圧浮揚手段から流体圧力を放出して搬送路上の搬送品を浮揚させ前記搬送品を所定方向へ搬送することができます。

特徴・効果

搬送品は、下方から放出する流体圧力で浮揚し、撓み進行波を励起している弾性振動板と搬送品表面間に発生する音響粘性流によって推進されるので搬送品とは完全に無接触の状態で搬送できます。
よって、搬送過程での損傷やストレスを受けることがなく、かつ可動部がないため清澄状態で搬送でき、さらに搬送速度や方向の制御も容易です。

発明の詳細・図面等

【特許請求の範囲】

搬送路上で搬送品を下方から放出する流体の圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、該搬送路に沿って配設される環状の弾性振動板とこの環状の弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させる励振アクチュエータとからなる複数のドライブユニットと、を備え、撓み進行波を励起している前記弾性振動板と、この振動板に対向した搬送品表面との間に発生する音響粘性流により、搬送路上で浮揚している当該搬送品を所定方向へ搬送するように構成されてなる無接触搬送装置。

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【詳細】

平板状の搬送品の搬送路に設けた多数の放出口から上方へ放出される圧力流体Ｆの圧力により、搬送品を浮揚します。

そして、上方の弾性振動板と一対の励振アクチュエータとで構成されたドライブユニットによって弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させます。

また、弾性振動板自体は回転せず、撓み進行波によって周方向へ伝搬し搬送されます。

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非接触搬送方法の概要