開放特許抄録集その他

整理番号:0029

無接触搬送装置

利用分野

大型で平板状の清澄搬送を要する物品の搬送装置。 (例:フラットパネルディスプレイ用マザーガラス基板、半導体ウエハ等)

発明者

  • 磯部 浩已

発明の目的

ディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状の物品等を、無接触でかつ清澄状態を保ちながら搬送し、搬送速度や方向制御が容易可能な装置を提供します。

概要

搬送路(コンベア)に沿って配設した弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させると共に、搬送品下方の流体圧浮揚手段から流体圧力を放出して搬送路上の搬送品を浮揚させ前記搬送品を所定方向へ搬送することができます。

特徴・効果

搬送品は、下方から放出する流体圧力で浮揚し、撓み進行波を励起している弾性振動板と搬送品表面間に発生する音響粘性流によって推進されるので搬送品とは完全に無接触の状態で搬送できます。
よって、搬送過程での損傷やストレスを受けることがなく、かつ可動部がないため清澄状態で搬送でき、さらに搬送速度や方向の制御も容易です。

発明の詳細・図面等

【特許請求の範囲】

搬送路上で搬送品を下方から放出する流体の圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、該搬送路に沿って配設される環状の弾性振動板とこの環状の弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させる励振アクチュエータとからなる複数のドライブユニットと、を備え、撓み進行波を励起している前記弾性振動板と、この振動板に対向した搬送品表面との間に発生する音響粘性流により、搬送路上で浮揚している当該搬送品を所定方向へ搬送するように構成されてなる無接触搬送装置。

$00A0

【詳細】

平板状の搬送品の搬送路に設けた多数の放出口から上方へ放出される圧力流体Fの圧力により、搬送品を浮揚します。

そして、上方の弾性振動板と一対の励振アクチュエータとで構成されたドライブユニットによって弾性振動板に超音波振動を与えて撓み進行波を励起させます。

また、弾性振動板自体は回転せず、撓み進行波によって周方向へ伝搬し搬送されます。

$00A0

非接触搬送方法の概要

非接触搬送方法の実施例

ライセンス情報

特許登録番号
第4168149号
登録日
H20年8月15日(2008年)
権利満了日
R5年9月8日(2024年)
DIR_ROOT
実施許諾
権利譲渡

事業化情報

実施実績
無し
許諾実績
無し

特許に関するご質問は、お問い合わせ票をご利用ください。

お問い合わせ票 ダウンロード
  • 機械関係
  • 電気関係
  • 情報関係
  • 化学関係
  • 材料関係
  • 環境関係
  • バイオ
  • その他

開放特許に関する
ご相談

開放特許に関するご相談は、下記の「お問い合わせ票」をダウンロードして内容を記入してご連絡下さい。

ご利用検討の詳細説明や、実施上の技術支援等のご要望、当ウェブサイトに関するお問い合わせに関してもお問い合わせ票をご使用下さい。
実施契約等、実施上の詳細は本学の学内規定に基づきご相談させて頂きます。

お問い合わせ票 ダウンロード