マイクロ・ナノプロセス応用研究室

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技術シーズカテゴリー
ナノテクノロジー・材料
キーワード
薄膜熱電デバイス光磁区イメージング微細加工MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)レーザー加工

研究室教職員

溝尻 瑞枝

溝尻 瑞枝MIZOSHIRI Mizue

機械創造工学専攻

産学融合特任准教授

TEL:
0258-47-9765
FAX:
0258-47-9765

専門分野

・生産工学・加工学
・材料加工
・光工学
・ナノマイクロシステム

研究分野

・レーザ微細加工
・マイクロ・ナノ加工
・マイクロデバイス
・フレキシブルデバイス

主要設備

・フェムト秒レーザ3D描画装置
・リソグラフィプロセス一式
・RFマグネトロンスパッタ装置

得意とする技術

・金属・半導体・樹脂の3Dレーザ微細加工技術
・大気中金属配線技術
・フレキシブルセンサ作製技術

産学官連携実績・提案

・金属/半導体/樹脂の3D微細プリンティング技術の応用
・マイクロ光/流体デバイス開発
・磁性材料の光学的観察

交流を求めたい分野

・3D微細プリンティング技術を応用した新規マイクロデバイスの開発
・微細加工技術を用いた新規マイクロデバイスの開発
・磁性材料の光学的観察

知的財産等

「熱電薄膜デバイス」特開2012-212838,
「高速成膜用スパッタリング」 特開2013-253295,
「厚膜パターンの製造方法」 特開2014-175376,
「複合微細構造体とその製造方法」 特開2016-175173

メッセージ

金属・半導体・樹脂のマイクロ・ナノ構造,デバイスの作製ができます.利用していただける応用がありましたらお声かけください.

  • 金属・半導体・感光性樹脂微細構造用3Dプリンタ金属・半導体・感光性樹脂微細構造用3Dプリンタ
  • レンズアレイ付フレキシブル熱電発電デバイスレンズアレイ付フレキシブル熱電発電デバイス
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