超短パルスレーザを用いた金属・半導体の3D微細造形法の創成に関する研究
～新規微細加工技術の創製～
マイクロ・ナノプロセス応用研究室
- 技術シーズカテゴリー
- ナノテクノロジー・材料
- キーワード
- 3D微細造形、3Dプリンティング、薄膜熱電デバイス、光磁区イメージング、微細加工、フレキシブルデバイス、マイクロデバイス、マイクロ流体デバイス、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）、レーザー加工、
研究室教職員
溝尻 瑞枝MIZOSHIRI Mizue
機械
産学融合特任准教授
- TEL：
- 0258-47-9765
- FAX：
- 0258-47-9765
- 研究者詳細
専門分野
・生産工学・加工学
・材料加工
・光工学
・ナノマイクロシステム
研究分野
・レーザ微細加工
・マイクロ・ナノ加工
・マイクロデバイス
・フレキシブルデバイス
主要設備
・フェムト秒レーザ3D描画装置
・リソグラフィプロセス一式
・RFマグネトロンスパッタ装置
得意とする技術
・金属・半導体・樹脂の3Dレーザ微細加工技術
・大気中金属配線技術
・フレキシブルセンサ作製技術
産学官連携実績・提案
・金属/半導体/樹脂の3D微細プリンティング技術の応用
・配線やセンサの大気中プリント作製
・マイクロ光/流体デバイス開発
交流を求めたい分野
・3D微細プリンティング技術を応用した新規マイクロデバイスの開発
・微細加工技術を用いた新規マイクロデバイスの開発
知的財産等
「熱電薄膜デバイス」特開2012-212838，
「高速成膜用スパッタリング」 特開2013-253295，
「厚膜パターンの製造方法」 特開2014-175376，
「複合微細構造体とその製造方法」 特開2016-175173
メッセージ
金属・半導体・樹脂のマイクロ・ナノ構造，デバイスの作製ができます．利用していただける応用がありましたらお声かけください．
金属・半導体・感光性樹脂微細構造用3Dプリンタ
レンズアレイ付フレキシブル熱電発電デバイス
