薄膜の低温成膜技術の開発
機能材料化学研究室
研究室教職員
西川 雅美NISHIKAWA Masami
物質生物
准教授
- TEL：
- 0258-47-9831
- 研究者詳細
専門分野
工学一般/機能材料
研究分野
「フレキシブル」を念頭に、金属酸化物、金属窒化物の薄膜の低温成膜プロセスを開発しています。具体的には、レーザとプラズマを用いています。主な応用としては、センサ、光電極、耐摩耗コーティングです。
主要設備
プラズマ装置、レーザ等の各種光源、光電極・光触媒評価装置、可視紫外分光光度計、ビーズミル
得意とする技術
金属酸化物の低温成膜
産学官連携実績・提案
これまで実績はありません。金属酸化物膜の低温成膜が可能であるため、耐熱性の低い基材への金属酸化物の成膜、金属酸化物を用いたデバイスのフレキシブル化等、連携希望です
交流を求めたい分野
特に限定しません。これまで高温プロセスが必要であったために用途が限られていた金属酸化物および金属窒化物の機能性を多用な分野に応用できると考えています。
知的財産等
特になし。
メッセージ
薄膜の低温成膜を中心に研究を展開しておりますが、光触媒に関しても、作製・評価・機構解明の一連の研究を展開しております。
レーザ照射光学系とプラズマ装置
