開放特許抄録集電気関係

整理番号:0006

金属酸化物構造体、その製造方法及び製造装置

利用分野

セラミックコンデンサー、アクチュエーター、光波長変換素子、レーザー発振素子、冷陰極素子等の電子材料、光材料、抗菌、防汚効果等を目的とする表面改質剤等

発明者

斎藤　秀俊
大塩　茂夫
波岡　義哲

発明の目的

金属酸化物ウイスカー母材の機能特性を低下させずに、機械的強度と耐久性を大幅に改善したウイスカーを有する金属酸化物構造体の製造方法と製造装置を提供します。

概要

円近似断面径が０.01～100μｍで、円近似断面径に対する長さの比が１以上である金属酸化物のウイスカーを有する金属酸化物構造体において、ウイスカーがウイスカー内部にウイスカーの長軸方向に沿ってウイスカーを構成する母材とは異なる元素添加によって得られる母材組成とは異なる組成の強化層を有します。

特徴・効果

従来の金属酸化物ウイスカー密集構造体は、きわめて大きい表面積を有し導電性、圧電性等種々の性状に優れるが、ウイスカーの機械的強度が弱いためウイスカーが加工時に折れたり、電界放出素子として使用する際に放電によりウイスカーが破壊される等の問題点があります。

本発明は、金属酸化物ウイスカー母材の機能特性を低下させずに、機械的強度と耐久性を大幅に改善します。

発明の詳細・図面等

【特許請求の範囲】

円近似断面径が０.01～100μｍで、円近似断面径に対する長さの比が１以上である金属酸化物のウイスカーを有する金属酸化物構造体において、ウイスカーがウイスカー内部にウイスカーの長軸方向に沿ってウイスカーを構成する母材とは異なる元素添加によって得られる母材組成とは異なる組成の強化層を有することを特徴とする金属酸化物構造体。

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【詳細】

本発明は、ウイスカーがウイスカーを構成する母材とは異なる元素添加によって得られる強化構造を有することを特徴とし、このような強化構造を有するウイスカーは、例えば図に示す装置を使用し、気化させた金属酸化物ウイスカー母材構成元素を含むガスと気化させた母材とは異なる元素を含むガスを、キャリアガスとともに均一に混合した後に、大気圧開放下に加熱された基材表面に吹き付けて基材表面に金属酸化物構造体を堆積することによって得ます。

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装置の概要